1 本年度报告摘要来自年度报告全文，为全方面了解本公司的经营成果、财务情况及未来发展规划，投资者应当到上海证券交易所（）网站仔细阅读年度报告全文。

　　2 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

　　4 中汇会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。

　　公司拟向全体股东每10股派发现金红利1.60元（含税）。本次公司利润分配不送红股，不以资本公积金转增股本。截至2022年12月31日，公司总股本125,070,700股，扣除公司回购专用证券账户中2,245,000股,以此计算合计拟派发现金红利19,652,112.00元（含税），剩余未分配利润结转至下年度。本年度公司现金分红比例（即现金分红金额占合并报表中归属于上市公司普通股股东的净利润的比例）为15.08%；根据《上海证券交易所上市公司自律监管指引第7号一一回购股份》的有关法律法规，公司2022年度以集中竞价方式回购股份累计支付金额为人民币79,939,104.00元（不含交易费用），视同现金红利。加上该等金额后，公司现金分红（含税）金额共计人民币99,591,216.00元，合计分红金额占合并报表中归属于上市公司普通股股东的净利润的比例为76.43%。

　　如在本公告披露之日起至实施权益分派股权登记日期间，因回购股份、股权激励授予股份回购注销等致使公司总股本发生变动及公司回购专用证券账户的股数发生变动的，公司拟维持每股分配比例不变，相应调整分配总额。如后续总股本发生明显的变化，将另行公告具体调整情况。本次利润分配方案尚需提交公司2022年年度股东大会审议。

　　公司系为中国泛半导体产业提供工艺废气治理系统解决方案的国内具有较强总实力的企业。根据《国民经济行业分类》（GB/T 4754-2017），公司所处行业属于环境保护专用设备制造（C3591）；根据中国证券监管管理委员会公布的《上市公司行业分类指引》（2012年修订），公司所属行业为C35，专用设备制造业。

　　公司的主要下业为光电显示、集成电路等泛半导体产业领域以及新能源领域。下游客户制造环节产生的工艺废气治理，不仅是国家环保政策要求，更是与自身正常生产息息相关。由于工艺废气治理系统及设备是其生产的基本工艺不可分割的组成部分，工艺废气需要与生产的基本工艺同步进行收集、治理和排放，其安全稳定性必然的联系到客户的产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境。

　　公司深耕泛半导体工艺废气治理领域多年，持续服务于中芯国际、华虹半导体、格科微、卓胜微、长电科技、士兰微电子、京东方、华星光电、惠科光电、天马微电子、维信诺、和辉光电、中电系统、通威股份、宁德时代等业内领军企业，积累了领先的设计能力、专业的管理团队及丰富的实战经验，奠定了公司在国内泛半导体产业工艺废气治理领域的领先地位。

　　总体而言，公司主体业务发展受益于中国泛半导体产业在国产替代进程中快速地增长及建立健全绿色环保、低碳循环发展经济体系的两大趋势。公司所处行业需要遵守或受到重要影响的主要法律和法规和行业政策节选如下：

　　集成电路产业是目前国内“卡脖子”的战略关键领域，已成为支撑经济社会持续健康发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。自2010年以来，我国政府颁布了一系列政策法规，将集成电路产业确定为战略性新兴起的产业之一，全力支持集成电路行业的发展。

　　2014年6月，国务院颁布《国家集成电路产业高质量发展推进纲要》，《纲要》强调推进集成电路产业高质量发展，以需求为导向，以技术创新、模式创新和体制机制创新为动力，破解产业高质量发展瓶颈，推动产业重点突破和整体提升。到2020年，与国际领先水平的差距逐步缩小，全行业出售的收益年均增速超过20%。到2030年，产业链主要环节达到国际领先水平，实现跨越发展。

　　2016年12月，国务院印发《“十三五”国家战略新兴起的产业发展规划》，提升核心基础硬件供给能力。提升关键芯片设计水平，发展面向新应用的芯片。加快16/14纳米工艺产业化和存储器生产线建设，提升封装测试业技术水平和产业集中度，加紧布局后摩尔定律时代芯片相关领域。

　　2020年8月，国务院印发了《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展若干政策》，《新时期政策》共40条，涉及财税政策、投融资政策、研究开发政策、进出口政策、人才政策、知识产权政策、市场应用政策、国际合作政策等八个方面，对进一步优化集成电路产业和软件产业高质量发展环境，深化产业国际合作，提升产业创新能力和发展质量提供了保障。

　　2021年3月，第十三届全国人民代表大会第四次会议表决通过了《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》的决议，纲要提出需要集中优势资源攻关多领域关键核心技术，其中集成电路领域包括集成电路设计工具开发、重点装备和高纯靶材开发，集成电路先进工艺和绝缘栅双极晶体管（IGBT）、微机电系统（MEMS）等特色工艺突破，先进存储技术升级，碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体发展。坚定发展半导体产业已上升至国家重点战略层面，并成为社会各界关注的重点产业。

　　2022年3月，国务院总理在第十三届全国人民代表大会第五次会议上作政府工作报告，总理提出：“促进数字经济发展。加强数字中国建设整体布局。建设数字信息基础设施，逐步构建全国一体化大数据中心体系，推进5G规模化应用，促进产业数字化转型，发展智慧城市、数字乡村。加快发展工业互联网，培育壮大集成电路、人工智能等数字产业，提升关键软硬件技术创新和供给能力。”

　　2022年3月，国家发改委等5部门联合发布《关于做好2022年享受税收优惠政策的集成电路企业或项目、软件企业清单制定工作有关要求的通知》。清单针对申报企业的高学历比例、研发人员比例、研发费用占比等提出要求，同时对于逻辑电路、存储器、特色工艺集成电路生产、化合物集成电路生产，以及关键原材料、零配件生产等8类企业，仅4项申报要求，芯片制造及相关企业的申报门槛较低，体现出国家对增强芯片制造产业实力、提升自主科研创新能力的坚决态度。

　　2022年12月，中央、国务院印发《扩大内需战略规划纲要(2022-2035年)》，规划纲要提出要加快发展新产业新产品，壮大战略性新兴产业，全面提升信息技术产业核心竞争力，推动人工智能、先进通信、集成电路、新型显示、先进计算等技术创新和应用。

　　2022年12月，国家发改委印发《“十四五”扩大内需战略实施方案》，针对《扩大内需战略规划纲要（2022-2035年）》提出的重点任务，进一步细化相关政策举措，包括围绕新一代信息技术、生物技术、新材料、新能源、高端装备、新能源汽车、绿色环保、海洋装备等关键领域，5G、集成电路、人工智能等产业链核心环节，推进国家战略性新兴产业集群发展工程，实施先进制造业集群发展专项行动，培育一批集群标杆，探索在集群中试点建设一批创新和公共服务综合体。

　　近年来，我国环保政策密集出台，环保力度进一步加大，环保政策措施由行政手段向法制和经济手段延伸。我国环保产业革命持续深化，绿色科技产业成为我国重要战略性新兴产业之一；在我国“十五”规划至“十四五”规划期间，国家对新能源行业的支持政策由“加快技术进步和机制创新”变化为“因地制宜，多元发展”再到“加快壮大新能源产业成为新的发展方向”，新能源行业对于社会经济可持续发展起到促进作用。

　　2021年7月，国务院印发《“十四五”循环经济发展规划》，规划通过市场化方式确定城市废弃物协同处置付费标准，有序推进协同处置医疗废物、危险废物、生活垃圾等，全面提高资源利用效率，提升再生资源利用水平，建立健全绿色低碳循环发展经济体系，为经济社会可持续发展提供资源保障。

　　2021年8月，生态环境部发布《关于加快解决当前挥发性有机物治理突出问题的通知》，为全社会各行业VOCs治理提供指导纲领。通知指出在落实相关法律法规标准等要求的基础上，坚持精准治污、科学治污、依法治污。

　　2022年1月，国务院印发《“十四五”节能减排综合工作方案》提出，到2025年，全国单位国内生产总值能源消耗比2020年下降13.5%，能源消费总量得到合理控制，化学需氧量、氨氮、氮氧化物、挥发性有机物排放总量比2020年分别下降8%、8%、10%以上、10%以上。节能减排政策机制更加健全，重点行业能源利用效率和主要污染物排放控制水平基本达到国际先进水平，经济社会发展绿色转型取得显著成效。

　　2022年3月，国家发改委、国家能源局印发《“十四五”现代能源体系规划》，提出推动电力系统向适应大规模高比例新能源方向演进。加快发展风电、太阳能发电等新能源，最大化利用可再生能源。提升终端用能低碳化电气化水平，到2025年新能源汽车新车销量占比达20%左右。

　　2022年4月，国务院发布《中央国务院关于加快建设全国统一大市场的意见》，提出培育发展全国统一的生态环境市场。依托公共资源交易平台，建设全国统一的碳排放权、用水权交易市场，实行统一规范的行业标准、交易监管机制。推进排污权、用能权市场化交易，探索建立初始分配、有偿使用、市场交易、纠纷解决、配套服务等制度。推动绿色产品认证与标识体系建设，促进绿色生产和绿色消费。

　　2022年5月，国家发展改革委、国家能源局发布《关于促进新时代新能源高水平发展的实施方案》，提出要促进新能源开发利用与乡村振兴融合发展，鼓励地方政府加大力度支持农民利用自有建筑屋顶建设户用光伏。推动新能源在工业和建筑领域应用，在具备条件的工业企业、工业园区，加快发展分布式光伏、分散式风电等新能源项目。到2025年，公共机构新建建筑屋顶光伏覆盖率力争达到50%；鼓励公共机构既有建筑等安装光伏或太阳能热利用设施。

　　2022年6月，生态环境部等七部门联合印发《减污降碳协同增效实施方案》，目标到2025年减污降碳协同推进的工作格局基本形成，到2030年减污降碳协同能力显著提升，助力实现碳达峰目标。《方案》就能源、工业、农业、交通运输等领域实现协同增效做出了详细规定和分工安排，对“十四五”时期我国环保工作的开展和环保行业发展具有重要的指导意义。

　　2022年7月，市场监管总局等16部门联合发布《关于印发贯彻实施〈国家标准化发展纲要〉行动计划的通知》，要求实施碳达峰碳中和标准化提升工程，包括加强新型电力系统标准建设，完善风电、光伏、输配电、储能、氢能、先进核电和化石能源清洁高效利用标准。研究制定生态碳汇、碳捕集利用与封存标准。开展碳达峰碳中和标准化试点。分类建立绿色公共机构建设及评价标准。

　　2022年8月，工业和信息化部、国家发展改革委、生态环境部联合印发《工业领域碳达峰实施方案》，提出到2025年，规模以上工业单位增加值能耗较2020年下降13.5%，单位工业增加值二氧化碳排放下降幅度大于全社会下降幅度，重点行业二氧化碳排放强度明显下降。“十五五”期间，基本建立以高效、绿色、循环、低碳为重要特征的现代工业体系。确保工业领域二氧化碳排放在2030年前达峰。

　　2022年11月，生态环境部等15部门联合印发了《深入打好重污染天气消除、臭氧污染防治和柴油货车污染治理攻坚战行动方案》，重申打好三个标志性战役的重要性，以遏制臭氧浓度增长趋势为主要目标，强化VOCs等多污染物协同减排，以石化、化工、涂装、制药、包装印刷和油品储运销等为重点，加强VOCs源头、过程、末端全流程治理，并将在含VOCs产品质量等领域实施多部门联合执法。

　　2023年1月，工业和信息化部等六部门联合发布《关于推动能源电子产业高质量发展的指导意见》，提出深入推动能源电子全产业链协同和融合发展，提升太阳能光伏和新型储能电池供给能力，支持新技术新产品在重点终端市场应用，推动关键信息技术及产品发展和创新应用等意见。

　　公司所处行业其它信息详见本报告“第三节 管理层讨论与分析”之“六、公司关于公司未来发展的讨论与分析”之“（一）行业格局和趋势”中的相关描述。

　　公司专注于泛半导体工艺废气治理系统及关键设备的研发设计、加工制造、系统集成及运维管理，致力于为客户定制化提供安全稳定的废气治理系统解决方案，为产业绿色生产创造价值。

　　凭借在国内泛半导体行业积累的设计能力、专业人才及实战经验，公司将先进治理技术和综合解决方案应用拓展至烟气治理、非泛半导体领域VOCs减排、新能源产业环境治理等行业，同时逐步进入泛半导体湿电子化学品供应与回收再生系统服务领域，并积极布局湿电子化学品材料业务。

　　公司在光电显示、集成电路等泛半导体产业工艺废气治理领域具有领先的竞争优势和自主创造新兴事物的能力，拥有多项自主研发的核心技术成果，产品主要包括系统类产品及设备类产品。系统类产品包括泛半导体工艺废气治理系统、湿电子化学品供应与回收再生系统，以定制化的研发设计、加工制造、系统集成及运维管理为主要生产模式，目前主要核心设备能够实现自产或定制化设计；设备类产品包括工艺排气管道、中央废气治理设备、泛半导体制程附属设备等。

　　公司泛半导体客户的大部分生产线整于洁净厂房中，以光电显示客户中AMOLED的阵列工序主要流程及产污环节为例，公司主要产品与客户生产线相结合的具体情况如下：

　　公司针对泛半导体生产工艺环节持续产生的复杂废气，依据这些废气的特性，提供系统解决方案。公司的工艺废气治理系统解决方案覆盖了客户的生产工艺过程，与其生产工艺同步进行废气收集、处理及排放，有力保障了客户的产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境，是客户生产工艺不可分割的组成部分。

　　泛半导体工艺废气治理系统按照处理废气种类，分为酸碱废气处理系统、有毒废气处理系统、VOCs处理系统、一般排气系统等，并可按照废气成分进行综合配置，下游领域包括光电显示、集成电路等。

　　湿电子化学品供应与回收再生系统包括两个相关联化学品系统，即化学品供应系统和化学品回收再生系统。化学品供应系统主要作用是将化学品从化学品原材料供应商提供的盛装容器中，输送到使用化学品的工艺设备入口，并根据需要进行加压、纯化、多组分调配及计量等；化学品回收再生系统主要作用是将废化学品收集后，根据需要进行外运处置或者在厂内进行提纯再生，调配单组分、添加剂达到原液标准后循环使用。

　　公司生产的废气治理设备包括工艺排气管道、中央废气治理设备、泛半导体制程附属设备。

　　公司生产的工艺排气管道以不锈钢涂层风管为主，其管道内壁喷涂具备高度抗腐蚀性的氟涂料，具有优异的耐热性、耐腐蚀性、低摩擦性等特性，常用于泛半导体产线中有酸碱排风需求和防火要求较高的洁净室内或外部室外区域。公司生产的ECTFE涂层风管和ETFE涂层风管先后通过FM Approvals关于洁净室专用的排气及排烟管道系统认证，可被广泛应用于泛半导体、石油化工、生物制药、食品加工等行业的排气系统。

　　泛半导体工艺废气治理系统由中央废气治理设备、管道、仪表等组成，中央废气治理设备作为废气治理系统的核心组件，目前主要核心设备能够实现自产或定制化设计。公司所设计、加工制作的中央废气治理设备主要包括：沸石转轮、蓄热式焚化炉、直燃式焚化炉、干式除尘器、连续水幕湿式电除尘、洗涤塔、预过滤器、深度冷凝器等。

　　L/S是Local Scrubber的简称，是泛半导体工艺设备PFCS污染物处理装置，用于对制程过程中产生的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气进行源头处理，该设备一端与泛半导体工厂工艺设备相连，通过真空泵抽取工艺设备内产生的废气并进行分解；另一端与中央治理系统相连，将分解后的尾排气体排至中央处理装置并进行后续处理。L/S属于泛半导体工艺制程设备的一部分，其运行稳定性及气体处理效率要求高。

　　LOC-VOC是一种泛半导体洁净室EHS处理装置，用于处理洁净室内弥散的VOC气体，用于保障生产员工的职业健康和安全。泛半导体行业生产车间某些区域循环风中含有一定量的挥发性VOCs气体，影响职业健康和产品良率。含有VOCs的气体通过沸石，VOCs被吸附，洁净气体排至车间，小风量的高温气体从沸石上脱附出高浓度的VOCs，排至VOCs中央处理装置，集中处理达标排放，有助于提高客户制程的产品良率。

　　公司积极布局湿电子化学品材料业务。基于公司湿电子化学品供应与回收再生系统技术的积淀，公司在发展电子材料业务方面具备竞争优势，如长期积累的泛半导体客户渠道资源丰富，并在循环回收工艺和项目经验方面有先发优势，为开展湿电子化学品材料研发制造业务奠定了坚实的发展基础。公司内部已组建研发团队，并在上海化工区设立实验室和生产线，进行相关电子材料的研发、制备工作；并以开放的模式寻求与外部优秀技术、产业资源力量加强合作，引进国际先进的FPD光刻胶剥离液和蚀刻液技术。主要规划产品聚焦于剥离液、蚀刻液、清洗液等电子专用材料。下游应用领域主要为显示面板等领域，主要用于显影、蚀刻、清洗等制造工艺。目前，剥离液客户验证工作已取得积极进展。

　　公司将泛半导体领域积累的经验拓展至烟气净化、新能源、非泛半导体行业VOCs减排等领域的系统、关键设备、零部件及原材料研制。

　　烟气净化系统处理技术包括酸性气体脱除、NOx去除、粉尘二噁英控制和重金属排放控制。下游应用领域包括：垃圾焚烧发电、生物质发电、固体危废处理等行业。

　　国家对VOCs治理标准提升，给VOCs减排领域带来巨大增量市场需求。公司加大技术投入和市场推广，将在泛半导体工艺废气治理领域积累的VOCs减排技术拓展应用至环保产业，持续拓展新业务市场空间，致力于面向百余个非泛半导体行业不同经营规模的客户提供VOCs规模化治理系统解决方案及VOCs净化一体机设备。

　　VOCs净化一体机设备精密集成预过滤、沸石转轮吸附浓缩与催化氧化系统，有效治理苯、醇、烷烃、醚、酮、脂类等VOCs组分并实现达标排放。该设备通过精密集成，可一站式实现快速安装运行并节约占地空间，与传统VOCs治理系统相比具有节约能耗、降低成本的优势，在轨交涂装、汽车制造、重型机械、轮胎制造等行业均有投运经验与业绩，能够满足不同行业、工艺与地区的达标及超净排放要求。

　　公司专注于泛半导体工艺废气治理系统及关键设备的研发设计、加工制造、系统集成及运维管理，致力于为客户定制化提供安全稳定的废气治理系统解决方案。围绕项目开展的定制化设计是公司的业务核心，贯穿了销售、采购、生产的各个环节。公司的主要业务模式如下：

　　公司采取直销模式，客户主要以泛半导体行业高科技工业公司及其工厂建设的总承包方为主。公司的废气治理系统业务和湿电子化学品供应与回收再生系统业务主要通过招投标获取，公司的废气治理设备业务主要通过竞争性谈判获取。

　　公司采购的内容最重要的包含材料、设备及配件、外协加工和安装劳务。其中采购的设备及配件和安装劳务主要用于废气治理系统业务和湿电子化学品供应与回收再生系统业务。公司的废气治理系统业务和湿电子化学品供应与回收再生系统业务主要按照项目定制化集中采购。中标后公司根据客户的不同需求对产品进行深化设计，采购内容因项目和产品不同存在差异。项目深化设计方案完成后，除自产设备及配件外，公司供应链管理部根据项目需求情况向备选合格供应商发送材料清单并询价，综合考虑价格、供货速度等其他因素来确定最终的供应商，签署采购订单或协议，进行集中采购。采购的材料和外协加工主要用于废气治理设备业务。

　　公司的废气治理设备业务基本的产品为工艺排气管道、中央废气治理设备、泛半导体制程附属设备，采购的原材料主要为钢材、氟涂料和吸附剂模块等，采购的服务主要为外协加工。公司主要根据在手订单和未来预期，结合原材料价格波动情况，进行采购和适量备货。

　　公司的废气治理系统业务和湿电子化学品供应与回收再生系统业务均为非标定制产品，以设计和管理为核心，通过系统集成的方式进行生产。公司的废气治理设备业务产品具体型号较多，主要采用以销定产的生产模式，同时公司根据未来市场预期、原材料价格波动、生产计划排期等因素，进行适量的备货。

　　公司的废气治理系统和湿电子化学品供应与回收再生系统的生产过程包括定制化设计、自产设备研发制造、非自产设备设计采购、系统安装集成、检验调试等多个环节。公司通过驻派富有经验的项目经理和研发技术人员，根据不同客户的生产的基本工艺，重点在治理工艺、治理设备、电气控制等方面进行定制化设计，实现对生产过程的全流程管理和技术支持。

　　公司生产的废气治理设备包括工艺排气管道、中央废气治理设备、泛半导体制程附属设备，除用于自身废气治理系统外，也存在对外销售的情形。除自产设备外，公司部分用于废气治理系统的单体治理设备，如洗涤塔、焚化炉、湿式电除尘设备等，系由公司提供技术指标和设计图纸，由合格供应商生产。随着公司江苏昆山、四川广汉、湖北孝感制造基地的建成投产，公司产能、场地、设备均有所提升，用于废气治理系统的中央废气治理设备产能逐步释放。

　　4.1 报告期末及年报披露前一个月末的普通股股东总数、表决权恢复的优先股股东总数和持有特别表决权股份的股东总数及前 10 名股东情况

　　1 公司应该依据重要性原则，披露报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项。